Studien- und Abschlussarbeiten

 

Abschlussarbeiten an Partnerinstituten

  Mitarbeiter Fraunhofer ILT

Sollten aktuell keine Projekte ausgeschrieben sein, freuen wir uns nichts desto trotz über Anfragen. Sollten Sie Interesse an einem speziellen Thema haben, kontaktieren Sie den oder die Ansprechpartner/in desjeweiligen Themenbereiches.

 
 

Experimentell

  Bild einer EUV-Quelle mit Steuerungselektronik und Kühlung Fraunhofer ILT

B.Sc. (Physik) Projekt
Charakterisierung des Extrem Ultravioletten Spektrums einer Plasma-basierten Lichtquelle bei unterschiedlichen Arbeitsgasen

Lithographie und Bildgebung verlangen immer kürzere Beleuchtungswellenlängen um die steigenden Anforderungen an die Verkleinerung und Auflösung weiter zu erfüllen. Dabei wird z.B. in der Lithographie der Schritt von 193 nm zu 13.5 nm vollzogen. Im Rahmen diese Projektes sollen Spektren von verschiedenen Entladungen bei mit verschiedenen Gasen aufgezeichnet und die intensiven Emissionslinien identifiziert werden.

Projektbeschreibung Jan Bussmann